ITO 薄膜的(de)制備方(fāng)法(fǎ)有(yǒu)蒸发、濺射、反(fǎn)應(yìng)離子鍍、化(huà)學(xué)气(qì)相沉積、热解(jiě)噴塗等, 但使用(yòng)多(duō)的(de)是(shì)反(fǎn)應(yìng)磁控濺射法(fǎ)。
ITO膜层(céng)的(de)厚度(dù)不(bù)同(tóng),膜的(de)導電(diàn)性(xìng)能(néng)和(hé)透光(guāng)性(xìng)能(néng)也(yě)不(bù)同(tóng)。一(yī)般来(lái)说,在(zài)相同(tóng)的(de)工藝条(tiáo)件(jiàn)和(hé)性(xìng)能(néng)相同(tóng)的(de)PET基底材料的(de)情(qíng)況下(xià),ITO膜层(céng)越厚,PET-ITO膜的(de)表(biǎo)面電(diàn)阻越小,光(guāng)透过率也(yě)相應(yìng)的(de)越小。